Tómarúmsofn, það er að segja í sérstöku rými ofnhólfsins, er tómarúmskerfið (varlega sett saman með lofttæmisdælu, tómarúmsmælibúnaði, lofttæmiloki og öðrum íhlutum) notað til að losa hluta efnanna í ofnhólfinu, þannig að þrýstingurinn í ofnhólfinu er minni en venjulegur loftþrýstingur og plássið í ofnhólfinu er notað til að ná fram lofttæmi, sem er lofttæmisofn.
Tómarúmsofn er tæki sem hitnar í lofttæmu umhverfi. Ofnhólfið er leitt að hálofttæmisdælukerfinu í ofni sem er lokaður með málm- eða kvarsglerhlíf. Tómarúmsstig ofnsins getur náð 133×(10-2~10-4)Pa. Hitakerfið í ofninum er hægt að hita beint með rafhitun á viðnámsofnivír (eins og wolframvír), eða það er hægt að hita það með hátíðni framkalla. Hámarkshiti getur náð um 3000 gráðum. Það er aðallega notað fyrir keramikbrennslu, tómarúmbræðslu, afgasun og glæðingu rafmagns tómarúmhluta, lóðun á málmhlutum og keramik-málmþéttingu.
