CVD rörofn (Chemical Vapor Deposition)-fullkomlega þekktur sem Chemical Vapor Deposition Tube Furnace-er tegund af varmavinnslubúnaði sem er mikið notaður á sviði efnisvísinda og verkfræði. Aðal notkun þess og aðgerðir eru:
Efnisvöxtur og útfelling:
Með því að setja gasblöndu inn í ofninn auðveldar CVD rörofninn niðurbrot lofttegunda við háan hita. Atómin eða sameindin sem myndast setjast síðan á fast undirlag og gerir þannig kleift að búa til þunna filmur, nanóagnir og önnur háþróuð efni.
Varmavinnsla:
Auk efnisútfellingar er hægt að nota CVD rörofninn fyrir ýmsar varmameðferðir-eins og duftbrennslu, keramik sintrun, há-hitatilraunir og almenna efnisvinnslu-í margs konar efni, þ.
Þunn filmu undirbúningur:
Þetta nær til framleiðslu á málmfilmum, hálfleiðarafilmum, sjónfilmum og svipuðum efnum. Með því að stjórna nákvæmlega hvarfskilyrðum og efnisframboði er hægt að fá þunn-filmuefni með sérstaka eiginleika og uppbyggingu.
Nanóefni undirbúningur:
Ofninn gerir kleift að búa til nanóefni eins og nanóagnir og nanóvíra. Með því að stilla hvarfbreytur og undirlagsefni er hægt að búa til nanóefni með fjölbreytta formgerð og stærð.
Umsóknir um hálfleiðaraiðnað:
Innan hálfleiðaraiðnaðarins,CVD rör ofnargegna lykilhlutverki í mikilvægum ferlum eins og þunnri-filmuútfellingu, þvottahreinsun og yfirborðsmeðferð.
Púðurmálmvinnsla:
Búnaðurinn á við á sviði duftmálmvinnslu, þar sem hann auðveldar myndun málm- eða keramikefna með gas-fasaviðbrögðum.
Undirbúningur sjónræns efnis:
Það gerir ráð fyrir myndun gagnsæra sjónrænna efna, sem síðan eru notuð við framleiðslu á sjóntækjabúnaði, sjónhúð og svipuðum hlutum.
Byggingarhönnun:
Ofnhluti CVD slönguofns er venjulega með tvöfaldri-skel uppbyggingu.
Kælivifta er sett upp í holrúminu á milli innri og ytri skeljar til að auðvelda hraðar upphitunar- og kælingarlotur á sama tíma og tryggt er að yfirborðshiti ofnsins haldist lágt.
Ofnrörið sjálft er venjulega smíðað úr há-hreinleika efnum (eins og hár-kórundi).
Báðir endar rörsins eru innsiglaðir með háum-tæmi úr ryðfríu stáli flönsum til að tryggja gas-þéttleika og öflugt háan-hitaþol.
Stýring á hitastigi og andrúmslofti:
Kerfið er fær um að stjórna nákvæmlega bæði innra hitastigi og samsetningu andrúmsloftsins í ofninum til að uppfylla sérstakar kröfur ýmissa efna og vinnsluaðferða.
Það er búið nákvæmu gasflæðisstýringarkerfi (svo sem handvirkum flotflæðismælum eða hár-nákvæmni massaflæðisstýringum) til að fullnægja sérstökum ferlikröfum sem tengjast mismunandi verndandi andrúmslofti. Mikil afköst og orkusparnaður:
Notar mikla-hagkvæmni,-orkusparandi ofnfóðurefni (eins og fjölkristallaðar súráltrefjar) til að auka orkunýtingu.