Tómarúmsofn, það er að segja í sérstöku rými ofnhólfsins, er tómarúmskerfið (varlega sett saman með lofttæmisdælu, tómarúmsmælibúnaði, lofttæmiloki og öðrum íhlutum) notað til að losa hluta efnanna í ofnhólfinu, þannig að þrýstingurinn í ofnhólfinu er minni en venjulegur loftþrýstingur og plássið í ofnhólfinu er notað til að ná fram lofttæmi, sem er lofttæmisofn.