Tómarúmsofnar eru lofttæmandi hitameðhöndlunarofnar, sem skiptast eftir notkunarbúnaði og innihalda eftirfarandi gerðir:
Tómarúmslökkviofn, lofttæmd lóðaofn, lofttæmiglæðingarofn, lofttæmandi segulofn, lofttæmdarhitunarofn, lofttæmandi sintunarofn, lofttæmdreifingarsuðuofn, lofttæmiskolunarofn osfrv.
Samkvæmt upphitunaraðferðinni er tómarúmsofni skipt í lofttæmisviðnámsofn, lofttæmingarofn, lofttæmisbogaofn, lofttæmisjálfnýtan rafbogaofn, rafeindageislaofn (einnig þekktur sem rafeindasprengjuofn) og plasmaofn.