Tómarúmsofninn er almennt samsettur af aðalvélinni, ofnhólfinu, rafhitunarbúnaðinum, innsigluðu ofnskelinni, tómarúmskerfinu, aflgjafakerfinu, hitastýringarkerfinu og ytri flutningabílnum. Lokaða ofnskelin er soðin úr kolefnisstáli eða ryðfríu stáli og samskeyti á losanlegum hlutum eru innsigluð með lofttæmandi þéttiefni. Til að koma í veg fyrir að ofnskelin afmyndist eftir upphitun og að þéttiefnið rýrni við upphitun er ofnskelin almennt kæld með vatni eða loftkælingu. Ofnhólfið er staðsett inni í lokuðu ofnskel. Það fer eftir tilgangi ofnsins, ofnhólfið er búið mismunandi gerðum af hitaeiningum, svo sem viðnámum, innleiðsluspólum, rafskautum og rafeindabyssum. Tómarúmsofnar fyrir málmbræðslu eru búnir deiglum og sumir eru búnir sjálfvirkum hellubúnaði og stýribúnaði til að hlaða og afferma. Tómarúmskerfið samanstendur aðallega af lofttæmisdælu, lofttæmiloka og lofttæmismæli.